深圳奧坤鑫科技專業等離子設備銷售及生產廠家是采用微波等離子工藝用于芯片制造、MEMS器件、光伏電池、平板顯示器和探測器等領域的市場領導者。在光刻膠灰化、晶圓減薄和應力去除、打線前的bond pad清潔、封膠前的活化等應用中用安全的微波等離子對硅、三五族化合物、鈮酸鋰等半導體材料進行處理。微波等離子體特別適合于處理對靜電敏感的器件。
奧坤鑫等離子設備還提供量測工具用于先進的質量監測和生產過程中評估晶圓。SIRD系統是用于機械應力測量，TWIN用于離子注入劑量檢測。我們的量測系統可處理300毫米的晶圓，并滿足1級潔凈室的所有要求。
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