深圳奧坤鑫科技專業(yè)等離子設(shè)備銷售及生產(chǎn)廠家是采用微波等離子工藝用于芯片制造、MEMS器件、光伏電池、平板顯示器和探測(cè)器等領(lǐng)域的市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者。在光刻膠灰化、晶圓減薄和應(yīng)力去除、打線前的bond pad清潔、封膠前的活化等應(yīng)用中用安全的微波等離子對(duì)硅、三五族化合物、鈮酸鋰等半導(dǎo)體材料進(jìn)行處理。微波等離子體特別適合于處理對(duì)靜電敏感的器件。
奧坤鑫等離子設(shè)備還提供量測(cè)工具用于先進(jìn)的質(zhì)量監(jiān)測(cè)和生產(chǎn)過(guò)程中評(píng)估晶圓。SIRD系統(tǒng)是用于機(jī)械應(yīng)力測(cè)量，TWIN用于離子注入劑量檢測(cè)。我們的量測(cè)系統(tǒng)可處理300毫米的晶圓，并滿足1級(jí)潔凈室的所有要求。
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