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奧坤鑫:淺談關于等離子處理的原理
2016.09.20
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  【真空等離子設備】等離子體(Plasma)又稱物質第四態,區別于物質常見的固、液、氣三種存在形態。它是一種具有一定顏色的準中性電子流,是正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。
 
  在等離子狀態下脫離原子束縛的電子和原子,中性原子,分子和離子做無序運動,具有很高的能量,但整體顯中性。
 
  高真空室內部的氣體分子被電能激化,被加速的電子互相碰撞使原子、分子的最外層電子被激化脫離軌道,生成離子或反應性比較高的自由基。
 
  這樣生成的離子、自由基繼續相互碰撞和被電場加速,并與材料表面相互沖撞,破壞數微米深度的分子間原有的結合方式,削去孔內一定深度的表面物質形成微細凹凸,同時產生的氣體成分成為反應性官能基(或官能團),它們誘導物質表面發生物理、化學變化,因此能夠除去鉆污從而能夠提高鍍銅的結合力。【常壓等離子設備
 
  在等離子體化學反應中,起到化學作用的粒子主要是正離子及自由基粒子。自由基在化學反應過程中能量傳遞的“活化”作用,處于激發狀態的自由基具有較高的能量,易于與物體表面分子結合時會形成新的自由基。
 
  新形成的自由基同樣處于不穩定的高能量狀態,很可能發生分解反應,在變成較小分子同時生成新的自由基,這種反應過程還可能繼續進行下去,最后分解成水、二氧化碳之類的簡單分子。
 
  在另一些情況下,自由基與物體表面分子結合的同時,會釋放出大量的結合能,這種能量又成為引發新的表面反應推動力,從而引發物體表面上的物質發生化學反應而被去除。【等離子噴槍

 
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