【真空等離子設備】等離子體又稱物質第四態，它是包含足夠多的正負電荷數目近于相等的帶電粒子的非凝聚系統。
其基本原理是利用極不均勻電場，形成電暈放電，產生等離子體，其中包含大量電子和正負離子以及具有強氧化性的自由基，它們與空氣中的污染物發生非彈性碰撞，附著在上面，并且打開有害物質的化學鍵，使其分解成單質原子或無害分子，從而凈化空氣。
主要包括兩方面：【常壓等離子設備】
1.在產生等離子體的過程中，高頻放電產生的瞬時高能量，打開了某些有害氣體分子的化學鍵，使其分解成單質原子或無害分子。
2.等離子體中包含了大量的高能電子、離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子的平均能量高于氣體分子的鍵能，它們和有害氣體分子發生頻繁的碰撞，打開氣體分子的化學鍵生成單原子分子和固體顆粒，同時產生的大量·OH，·H2O，·O等自由基和氧化性極強的O3和有害氣體分子發生化學反應生成無害產物。【等離子處理機】
