【真空等離子設備】高頻等離子體發生器及其應用工藝有以下新特點：
①只有線圈，沒有電極，故無電極損耗問題。發生器能產生極純凈的等離子體，連續使用壽命取決于高頻電源的電真空器件壽命，一般較長，約為2000～3000小時。
在等離子體高溫下，由于參加反應的物質不存在被電極材料污染的問題,故可用來煉制高純度難熔材料,如熔制藍寶石、無水石英，拉制單晶、光導纖維、煉制鈮、鉭、海綿鈦等。
②高頻等離子體流速較低（約0～103米／秒），弧柱直徑較大。近年來，已廣泛應用于實驗室，便于作大量等離子體過程試驗。【等離子Plasma】
工業上制備金屬氧化物、氮化物、碳化物或冶煉金屬時，反應物在高溫區停留時間長，使氣相反應很充分。
根據電源與等離子體耦合的方式不同，高頻等離子體炬可分為：電感耦合型、電容耦合型、微波耦合型和火焰型。
高頻等離子體炬由三部分組成：高頻電源、放電室、等離子體工作氣供給系統。后者除了供軸向工作氣外,還像電弧等離子體炬氣穩弧一樣,切向供入旋轉氣流以冷卻并保護放電室壁(通常用石英或耐熱性較差的材料)。【等離子處理機】
