真空等離子設備原理就是對材料的表面產生刻蝕的物理作用。真空等離子設備就是利用等離子體來實現普通清洗方法所無法達到的清洗效果，這種清洗方式不會對清洗對象表面產生任何傷害，由于真空等離子設備是在真空中進行清洗，因此不會對環境造成任何的污染。
真空等離子設備主要由三大結構組成：
控制單元：真空等離子設備主要由全自動控制、半自動控制、PC控制、液晶觸摸屏控制四種控制單元，而控制單元主要由電源、控制系統、控制按鈕和操作顯示器等部分組成。
真空腔體：真空腔體就是用于清洗對象物的空間，主要有石英腔體和不銹鋼真空腔體。由于其內部采用真空滅菌防菌以及等離子清洗法，對于腔體壓力的承受有著一定的要求，所以需要采用材質較好的腔體進行配置。
真空泵：真空等離子設備的主要動力來源就是真空泵，主要作用是將真空腔體中的空氣抽干，從而達到真空的環境，然后再進行等離子清洗。真空等離子設備的真空泵主要分為干泵和油泵。干泵主要以電力為動力源，而油泵則使用汽油或柴油為動力源。
