真空等離子設備主要適用于各種材料的表面改性處理：表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及等離子體輔助化學氣相沉積：
表面改性：真空等離子設備用于紙張粘合，塑料粘接、金屬錫焊、電鍍前的表面處理。
真空等離子設備表面活化：生物材料的表面修飾，印刷涂布或粘接前的表面處理，如紡織品的表面處理。
表面刻蝕：真空等離子設備用于硅的微細加工，玻璃等太陽能領域的表面刻蝕處理，醫療器皿表面刻蝕處理。
真空等離子設備表面接枝：材料表面特定基團的產生和表面活化的固定。
表面沉積：真空等離子設備用于疏水性或親水性層的等離子體聚合沉積。
真空等離子設備廣泛應用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領域，是企業、科研院所進行等離子體表面處理的理想設備。
