真空等離子清洗機由真空發生系統、電氣控制系統、等離子發生器、真空腔休、機械等幾個部分組成，能夠按照客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統、真空室。真空等離子清洗機采用自動化程度高的數控技術，采用高精度控制裝置，時間控制精度非常高
等離子清洗機是氣體分子在特殊情況下產生的物質，如真空、放電等。用于產生等離子體的等離子體清潔/蝕刻裝置設置在密封容器中，因此等離子清洗機被廣泛應用于表面脫脂清洗的等離子刻蝕、聚四氟乙烯(PTFE)和聚四氟乙烯混合物的刻蝕、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化清洗、等離子電鍍聚合等工藝，等離子清洗機也應用于汽車電子、軍事電子和印刷電路板制造行業等高精度領域。
等離子清洗機通過兩個電極形成電磁場，并使用真空泵實現一定的真空度。隨著氣體變得越來越稀薄，分子活動或是分子間距和自由移動距離也變得越來越長。等離子清洗機在磁場的作用下，碰撞產生等離子體，同時發光。等離子體在電磁場空內移動，轟擊被處理物體的表面。去除表面油污和表面氧化物，灰化表面有機物等化學物質，從而達到表面處理、清洗和蝕刻的效果。選擇性表面改性可以通過等離子體處理工藝實現。
