真空等離子設備的工作基本原理是在真空狀態下，等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進行抽真空達到0.02-0.03mbar 的真空度，再在高頻發生器作用下，將氣體進行電離，形成等離子體（物質第四態）。那么真空等離子設備的清洗過程是怎樣的？下面來讓我們一起去了解下：
1、被清洗的工件送入真空等離子設備并加以固定，啟動運行裝置，開始排氣，使真空室內的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。通常來說，排氣時間大約需要幾分鐘。
2、向真空室內引入真空等離子設備用的氣體，并維持腔內壓強穩定。按照所需清洗材質的不同，可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等氣體。
3、在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而產生等離子化和產生等離子體，讓在真空室產生的等離子體完全籠罩住被處理工件，真空等離子設備開始清洗作業，一般清洗處理持續幾十秒到幾十分鐘不等。
4、真空等離子設備清洗完畢后必須要切斷電源，并通過真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出。
上述就是真空等離子設備的清洗過程，希望看完能夠對您有所幫助，如您想了解更多歡迎繼續瀏覽本公司網站！
