真空等離子設備處理空間大，提高了處理能力，采用了可編程控制器觸摸屏控制系統，精確控制設備運行。主要應用于生物醫藥行業、印刷電路板行業、半導體集成電路領域、硅膠、塑料、聚合物領域、汽車電子行業、航空行業等。
真空等離子設備由人機界面控制，操作更加方便簡單，視覺效果更加明顯。采用不銹鋼腔體，可根據用戶要求配置頻率、功率和電源。除了清潔功能之外，某些材料的表面性質可以根據特定條件下的要求進行改變。在清洗過程中，真空等離子設備的輝光放電可以增強這些材料的附著力、相容性和潤濕性。
真空等離子設備設計合理，可自由組合。防靜電支架可以避免靜電對產品的影響。真空等離子設備可以處理均，而不管要處理的襯底的類型，例如金屬、半導體、氧化物和大多數聚合物材料。該真空等離子設備設備簡單，易于操作和維護，可以連續運行，而且往往幾瓶氣體就可以替代幾千公斤的清洗液，因此清洗成本大大低于濕法清洗。
真空等離子設備用于金屬工業，去除金屬表面的油脂、油污和其他有機物及氧化層。在汽車制造業中，真空等離子設備主要用于汽車制造過程中的塑料和油漆預處理。在紡織品生產工業中，真空等離子設備主要處理紡織品、過濾器和薄膜的親水性、疏水性和表面改性。在半導體工業中，真空等離子設備主要用于晶片處理、光刻膠去除和封裝前預處理。
真空等離子設備進行表面清洗和處理清洗可以去除表面的脫模劑和添加劑，而其活化過程可以保證后續的粘接過程和涂覆過程等的質量。對于涂層處理，可以進一步改善復合材料的表面特性。采用真空等離子設備的等離子體表面處理技術可以按照規定的工藝要求對材料表面進行有效的預處理。無論是產品還是汽車發動機，真空等離子設備的等離子體表面處理技術都有助于實現高質量的精益加工。
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