真空等離子清洗機(jī)通過(guò)其獨(dú)特的工作原理來(lái)激活芯片表面。具體來(lái)說(shuō)，其激活芯片表面的過(guò)程可以概述為以下幾個(gè)步驟：
真空環(huán)境建立：首先，將待清洗（或需要表面活化的）芯片放置在真空室內(nèi)。通過(guò)抽取真空泵將室內(nèi)空氣抽出，從而建立真空環(huán)境。這一步是為了確保等離子體的形成和工作能夠在無(wú)氣體環(huán)境中進(jìn)行。
等離子體形成：當(dāng)真空達(dá)到一定程度后，通過(guò)放電電源在真空室內(nèi)產(chǎn)生高頻高壓電場(chǎng)。在電場(chǎng)的作用下，氣體分子發(fā)生電離，產(chǎn)生電子和離子。這些電子和離子就是等離子體的組成部分。
離子與芯片表面反應(yīng)：在等離子體的作用下，高能離子與芯片表面發(fā)生碰撞和反應(yīng)。這些反應(yīng)能夠去除芯片表面的污染物和氧化層，形成新的活性表面。同時(shí)，等離子體中的氣體（如氧氣、氮?dú)狻鍤獾龋┮部赡芘c芯片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成新的化合物或涂層，進(jìn)一步改變表面的化學(xué)性質(zhì)和物理特性。
表面活化：經(jīng)過(guò)上述步驟的處理，芯片表面被成功激活。新的活性表面不僅提高了芯片表面的附著力，還使其更易于進(jìn)行后續(xù)的沉積、蝕刻等工藝步驟。此外，表面改性還可能提高芯片的導(dǎo)電性能、耐腐蝕性和耐磨性等。
總的來(lái)說(shuō)，真空等離子清洗機(jī)通過(guò)其獨(dú)特的等離子體處理技術(shù)，可以有效地激活芯片表面，提高芯片的性能和可靠性。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，使用真空等離子清洗機(jī)進(jìn)行表面活化處理已成為一種重要的工藝手段。
