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真空等離子清洗機處理掩膜的主要目的是去除掩膜表面的污染物，如顆粒、油脂、有機物殘留等，以確保掩膜的準確性和穩定性。這些污染物可能會對掩膜的性能產生負面影響，因此通過清洗處理可以提高掩膜的質量和可靠性，從而保證半導體制造過程的順利進行和產品的高品質。

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