在線式真空等離子設備 PR-IL05-D
特點：
1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污；
2、真空腔內置2條軌道，可一次處理2片物料， UPH可達120載板/小時；
3、所有運動機構均采用成熟運動方案，設備穩定性及故障率得以有效控制。
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1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污；
2、真空腔內置2條軌道，可一次處理2片物料， UPH可達120載板/小時；
3、所有運動機構均采用成熟運動方案，設備穩定性及故障率得以有效控制。
| 編號 | 內容 | 規格參數 |
|---|---|---|
| 1 | 整機規格 | 1400*1400*2150mm（包含FFU及報警指示燈等） |
| 2 | 單次處理數量 | 2片載板 |
| 3 | 腔體軌道長度 | 260mm |
| 4 | 腔體軌道寬度兼容范圍 | 70-110mm |
| 5 | 腔體內尺寸 | 395*280*65mm |
| 6 | 設備產能 | 120載板/小時 |
| 7 | CT | 60秒 |
| 8 | LOAD&UNLOAD | 不具備 |
| 9 | 掃碼 | 進出掃碼載具二維碼 |
| 10 | 凈化防護 | 百級FFU凈化過濾系統 |
| 特點： 1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污； 2、真空腔內置2條軌道，可一次處理2片物料， UPH可達120載板/小時； 3、所有運動機構均采用成熟運動方案，設備穩定性及故障率得以有效控制。 用 途：IC封裝中引線框架上點膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗 在線式真空等離子清洗機自動搬運物料的設計要求,與常規等離子清洗系統相比,降低了人工搬運過成,提高了設備自動化水平。 |
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