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VDP-A系列 等離子去膠系統(tǒng)
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編號 內(nèi)容 規(guī)格參數(shù)
1 整機(jī)結(jié)構(gòu) 前端設(shè)備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元,前端EFEM系統(tǒng)與等離子體處理單元分體式設(shè)計
2 等離子體源 射頻式電感耦合等離子體源或雙頻等離子體源
3 反應(yīng)腔室 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計為雙反應(yīng)腔室,可根據(jù)需求定制單反應(yīng)腔室和多反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)
4 機(jī)械傳片 單臂或雙臂高精度機(jī)械手Wafer升降
5 Wafer升降 機(jī)械式Wafer pin升降結(jié)構(gòu),Wafer pin采用特定工藝處理
6 真空泵 干式真空泵,根據(jù)安裝位置及工藝不同,選擇100-600m3/h規(guī)格。如工藝需求,可增加分子泵。
7 工藝壓力控制 自動調(diào)壓蝶閥
8 真空檢測 管道真空計、反應(yīng)腔室全量程真空計、工藝真空計
9 工藝氣體種類 標(biāo)準(zhǔn)配置Ar、N2、O2,可增加CF4及其他工藝氣體
10 氣體流量控制 質(zhì)量流量控制器(MFC)
設(shè)備主要應(yīng)用:硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體的光阻灰化、高劑量離子注入后光刻膠去除、金屬表面去膠、Wafer表面的殘膠去除、Wafer表面殘留污染物去除、晶圓級封裝的前處理工藝等。
設(shè)備主要特點(diǎn):可兼容多尺寸晶圓、可實(shí)現(xiàn)多反應(yīng)腔室定制、獨(dú)特的等離子處理空間設(shè)計、等離子體密度高、去膠速率快、均勻性好、使用成本低、定制程度高、本系列設(shè)備的設(shè)計遵從中國國家安全標(biāo)準(zhǔn)及SEMI相關(guān)安全標(biāo)準(zhǔn)要求。
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