罚女仆夹震蛋器憋尿虐乳网站_看黄色特级片_在线观看免费视频一区_国产精品久久久久久久粉嫩_一二三四日本高清社区5_www.五月婷

VDP-B系列 等離子去膠系統
應用:硅基半導體及化合物半導體的光阻灰化、高劑量離子注入后光刻膠去除、金屬表面去膠、Wafer表面的殘膠去除、Wafer表面殘留污染物去除、晶圓級封裝的前處理工藝等。
在線咨詢
編號 內容 規格參數
1 整機結構 前端設備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元,前端EFEM系統與等離子體處理單元分體式設計
2 等離子體源 射頻式電感耦合等離子體源或雙頻等離子體源
3 反應腔室 射頻式電感耦合等離子體源或雙頻等離子體源
4 機械傳片 單臂或雙臂高精度機械手
5 Wafer升降 機械式Wafer pin升降結構,Wafer pin采用特定工藝處理
6 真空泵 干式真空泵,根據安裝位置及工藝不同,選擇100-600m3/h規格。如工藝需求,可增加分子泵。
7 工藝壓力控制 自動調壓蝶閥
8 真空檢測 管道真空計、反應腔室全量程真空計、工藝真空計
9 工藝氣體種類 標準配置Ar、N2、O2,可增加CF4及其他工藝氣體
10 氣體流量控制 質量流量控制器(MFC)
設備主要應用:硅基半導體及化合物半導體的光阻灰化、高劑量離子注入后光刻膠去除、金屬表面去膠、Wafer表面的殘膠去除、Wafer表面殘留污染物去除、晶圓級封裝的前處理工藝等。 設備主要特點:可兼容多尺寸晶圓、可實現多反應腔室定制、獨特的等離子處理空間設計、等離子體密度高、去膠速率快、均勻性好、使用成本低、定制程度高、本系列設備的設計遵從中國國家安全標準及SEMI相關安全標準要求。
  • 微信客服

  • 在線客服

  • 電話咨詢

  • 短信咨詢

  • 微信掃碼咨詢

    主站蜘蛛池模板: 97久久精品国产 | 日韩欧美多p乱免费视频 | 天天爽夜夜爽夜夜爽 | 97爱爱视频| 日本xxxxwwwwww | 免费a级毛片无码a∨男男 | 亚洲天堂男人的天堂 | 午夜影院在线 | 色之久久综合 | 一级片色| 精品综合 | 成人精品毛片国产亚洲av十九禁 | 人人爽人人爱 | 精品视频在线观自拍自拍 | 一区二区xxxx| 麻豆神马91 | 男男黄GAY片免费网站WWW | 日本69xxxxxxxx | 色av综合 | 日韩精品中文字幕无码专区 | 国产亚洲精品AAAA片在线播放 | 亚洲精品国产成人99久久6 | 吃奶摸下的激烈视频 | 秋霞鲁丝片无码一区二区 | 日韩一级高清 | 成人欧美一区二区三区黑人动态图 | 亚洲Ⅴ国产V天堂A无码二区 | 粉色视频成人免费看片视频 | 农村乱人伦一区二区 | 无码福利日韩神码福利片 | 久久露脸国产精品 | 中文字幕在线观看国产 | 成人性大片免费观看网站 | 蜜乳av一区二区三区 | 国产欧美二区 | 久久精品国产亚洲AV蜜臀色欲 | 美女18禁大胸裸身网站 | 国产国语在线播放视频 | 91免费成人| 超碰色综合 | 日韩欧美福利片 |